@article{Степанова Л. И.2025-03-11,
author = { Степанова Л. И.,  Соколов В. Г.,  Скроцкая К. В.},
title = {Химическое осаждение сплавов Ni-W-P на кремний из водных растворов},
year = {2016},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Обоснованы оптимальные условия формирования хорошо связанных с подложкой химически осажденных пленок Ni-W-P толщиной 100-120 нм на поверхности полированного кремния с предварительно осажденной и тер-мообработанной тонкой (~ 30 нм) пленкой сплава Ni-P. Показано, что наиболее мелкозернистые и плотноупакован-ные пленки, содержащие около 4 ат. % вольфрама и 15-16 ат. % фосфора, формируются из гипофосфитных растворов при соотношении концентраций солей никеля и вольфрама 1:1 и концентрации лиганда - цитрата натрия, в 5 раз превосходящей суммарную концентрацию солей восстанавливаемых металлов, при температуре 80 °С. Методом Ожеспектроскопии с ионным травлением показано, что двухслойные пленки Ni-P: Ni-W-P тормозят термостимули-руемую диффузию меди в объем полупроводника.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/12430},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/12396},
journal = {Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия химических наук},
}