TY  - JOUR
T1  - Химическое осаждение сплавов Ni-W-P на кремний из водных растворов
JF  - Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия химических наук
AU  - Степанова Л. И., 
AU  - Соколов В. Г., 
AU  - Скроцкая К. В., 
Y1  - 2025-03-11
UR  - https://www.academjournals.by/publication/12430
N2  - Обоснованы оптимальные условия формирования хорошо связанных с подложкой химически осажденных пленок Ni-W-P толщиной 100-120 нм на поверхности полированного кремния с предварительно осажденной и тер-мообработанной тонкой (~ 30 нм) пленкой сплава Ni-P. Показано, что наиболее мелкозернистые и плотноупакован-ные пленки, содержащие около 4 ат. % вольфрама и 15-16 ат. % фосфора, формируются из гипофосфитных растворов при соотношении концентраций солей никеля и вольфрама 1:1 и концентрации лиганда - цитрата натрия, в 5 раз превосходящей суммарную концентрацию солей восстанавливаемых металлов, при температуре 80 °С. Методом Ожеспектроскопии с ионным травлением показано, что двухслойные пленки Ni-P: Ni-W-P тормозят термостимули-руемую диффузию меди в объем полупроводника.