@article{Гайшун В. Е.2023-10-03,
author = { Гайшун В. Е.,  Косенок Я. А.,  Васькевич В. В.,  Тюленкова О. И.,  Борисенко В. Е.,  Ковальчук Н. С.,  Петлицкий А. Н.,  Чумак С. В.},
title = {Соединение пластин кремния стеклообразным нанокомпозитом, формируемым золь-гель методом},
year = {2023},
doi = {10.29235/1561-2430-2023-59-3-233-240},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {   Разработан состав стеклообразующей композиции и лабораторная золь-гель технология соединения с ее помощью пластин монокристаллического кремния для создания структур «кремний – изолятор – кремний». Показана возможность снижения температуры формирования качественного соединительного слоя до 1000–1100 °С. Полученные с применением разработанного золь-гель метода стеклокомпозиции могут быть использованы в технологических процессах, требующих формирования неразъемных соединений кремниевых пластин.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/12694},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/12660},
journal = {Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук},
}