%0 article
%A Гайшун В. Е., 
%A Косенок Я. А., 
%A Васькевич В. В., 
%A Тюленкова О. И., 
%A Борисенко В. Е., 
%A Ковальчук Н. С., 
%A Петлицкий А. Н., 
%A Чумак С. В., 
%T Соединение пластин кремния стеклообразным нанокомпозитом, формируемым золь-гель методом
%D 2023
%R 10.29235/1561-2430-2023-59-3-233-240
%J Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук
%X    Разработан состав стеклообразующей композиции и лабораторная золь-гель технология соединения с ее помощью пластин монокристаллического кремния для создания структур «кремний – изолятор – кремний». Показана возможность снижения температуры формирования качественного соединительного слоя до 1000–1100 °С. Полученные с применением разработанного золь-гель метода стеклокомпозиции могут быть использованы в технологических процессах, требующих формирования неразъемных соединений кремниевых пластин.
%U https://www.academjournals.by/publication/12694