PT - JOURNAL ARTICLE
AU - Гайшун В. Е., 
AU - Косенок Я. А., 
AU - Васькевич В. В., 
AU - Тюленкова О. И., 
AU - Борисенко В. Е., 
AU - Ковальчук Н. С., 
AU - Петлицкий А. Н., 
AU - Чумак С. В., 
TI - Соединение пластин кремния стеклообразным нанокомпозитом, формируемым золь-гель методом
DP - 2023-10-03
TA - Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук
4100 - 10.29235/1561-2430-2023-59-3-233-240
SO - https://www.academjournals.by/publication/12694
AB -    Разработан состав стеклообразующей композиции и лабораторная золь-гель технология соединения с ее помощью пластин монокристаллического кремния для создания структур «кремний – изолятор – кремний». Показана возможность снижения температуры формирования качественного соединительного слоя до 1000–1100 °С. Полученные с применением разработанного золь-гель метода стеклокомпозиции могут быть использованы в технологических процессах, требующих формирования неразъемных соединений кремниевых пластин.