RT - article
SR - Electronic
T1 - Соединение пластин кремния стеклообразным нанокомпозитом, формируемым золь-гель методом
JF - Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук
SP - 2023-10-03
DO - 10.29235/1561-2430-2023-59-3-233-240
A1 - Гайшун В. Е., 
A1 - Косенок Я. А., 
A1 - Васькевич В. В., 
A1 - Тюленкова О. И., 
A1 - Борисенко В. Е., 
A1 - Ковальчук Н. С., 
A1 - Петлицкий А. Н., 
A1 - Чумак С. В., 
YR - 2023
UL - https://www.academjournals.by/publication/12694
AB -    Разработан состав стеклообразующей композиции и лабораторная золь-гель технология соединения с ее помощью пластин монокристаллического кремния для создания структур «кремний – изолятор – кремний». Показана возможность снижения температуры формирования качественного соединительного слоя до 1000–1100 °С. Полученные с применением разработанного золь-гель метода стеклокомпозиции могут быть использованы в технологических процессах, требующих формирования неразъемных соединений кремниевых пластин.