TY  - JOUR
T1  - Соединение пластин кремния стеклообразным нанокомпозитом, формируемым золь-гель методом
JF  - Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук
DO  - 10.29235/1561-2430-2023-59-3-233-240
AU  - Гайшун В. Е., 
AU  - Косенок Я. А., 
AU  - Васькевич В. В., 
AU  - Тюленкова О. И., 
AU  - Борисенко В. Е., 
AU  - Ковальчук Н. С., 
AU  - Петлицкий А. Н., 
AU  - Чумак С. В., 
Y1  - 2023-10-03
UR  - https://www.academjournals.by/publication/12694
N2  -    Разработан состав стеклообразующей композиции и лабораторная золь-гель технология соединения с ее помощью пластин монокристаллического кремния для создания структур «кремний – изолятор – кремний». Показана возможность снижения температуры формирования качественного соединительного слоя до 1000–1100 °С. Полученные с применением разработанного золь-гель метода стеклокомпозиции могут быть использованы в технологических процессах, требующих формирования неразъемных соединений кремниевых пластин.