Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пьезокерамических пленок, полученных методом лазерного осаждения в вакууме

Босак Н. А.; Бушинский М. В.; Чобот А. Н.; Баран Л. В.; Малютина-Бронская В. В.; Таратын И. А.

Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пьезокерамических пленок, полученных методом лазерного осаждения в вакууме

Босак Н. А., Бушинский М. В., Чобот А. Н., Баран Л. В., Малютина-Бронская В. В., Таратын И. А.

2025

Методом высокочастотного импульсно-периодического (f ~ 10—12 кГц) воздействия лазерного излучения с длиной волны 1.064 мкм и плотностью мощности q = 33 МВт/см2 на пьезокерамику ЦТС-19 при давлении в вакуумной камере p = 2.2 * 10–2 мм рт. ст. получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой и стеклянной подложках. С помощью атомно-силовой микроскопии изучена морфология тонких пьезокермических пленок. Исследованы спектры пропускания пленок в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проведен анализ электрофизических свойств структуры ЦТС-19/Si на кремниевой подложке.

Босак Н. А., Бушинский М. В., Чобот А. Н., Баран Л. В., Малютина-Бронская В. В., Таратын И. А. Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пьезокерамических пленок, полученных методом лазерного осаждения в вакууме. Журнал прикладной спектроскопии. 2025;92(1):59-64.

Цитирование

Список литературы

1. S. Baba, H. Tsuda, J. Akedo. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 55, N 5 (2008) 1009—1016

2. K. Y. Choi, T. S. Kim, D. K. Choi, J. Y. Park, D. S. Yoon. Integrated Ferroelectrics, 69, N 1 (2005) 93—101

3. S. K. Pandey, A. R. James, C. Prakash, T. C. Goel, K. Zimik. Mater. Sci. Eng., B, 112, N 1 (2004) 96—100

4. V. V. Petrov, Y. N. Varzarev, A. S. Kamentsev, A. A. Rozhko, O. A. Pakhomova. Nano Hybrids and Composites, 28 (2020) 65—70

5. L. S. Jang, K. C. Kuo. Sensors, 7, N 4 (2007) 493—507

6. S. R. Krishnamoorthi, K. S. Venkatesh, R. Ilangovan. Adv. Cond. Matter Phys., 2013 (2013) 1—6

7. S. R. Krishnamoorthi, K. S. Venkatesh, R. Ilangovan. J. Ovonic Res., 9, N 3 (2013) 81—88

8. J. Hong, H. W. Song, S. Hong, H. Shin, K. No. J. Appl. Phys., 92 (2002) 7434—7441

9. N. Izyumskaya, Y. I. Alivov, S. J. Cho, H. Morkoç, H. Lee, Y. S. Kang. Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences, 32, N 3-4 (2007) 111—202

10. G. D. Shilpa, K. Sreelakshmi, M. G. Ananthaprasad. IOP Conference Series: Materials Science and Engineering, 149 (2016) 012190

11. T. Ito, T. Nishi, T. Umegaki, H. Hida, I. Kanno. J. Phys.: Conference Series, 1052 (2018) 012094

12. B. Beklešovas, A. Iljinas, V. Stankus, J. Čyvienė, M. Andrulevičius, M. Ivanov, J. Banys. Coatings, 12 (2022) 717

13. А. М. Солодуха, И. Е. Шрамченко, А. М. Ховив, В. А. Логачева. ФТТ, 49, № 4 (2007) 719—722

14. Экспресс-информация по зарубежной электронной технике, вып. 17 (6691) от 29 августа 2019 г. (2019)

15. Л. Я. Минько, А. Н. Чумаков, Н. А. Босак. Квант. электрон., 17, № 11 (1990) 1480—1484

16. А. Н. Магунов, О. В. Лукин. Микроэлектроника, 25, № 2 (1996) 97—111

17. В. Н. Игумнов. Физические основы микроэлектроники: учебное пособие, изд. 2-е, Марийский государственный технический университет, Йошкар-Ола (2010)

18. М. В. Каменщиков, А. В. Солнышкин, А. А. Богомолов, И. П. Пронин. ФТТ, 53, № 10 (2011) 1975—1979

Источник

Информация

Автор

Босак Н. А. Институт физики НАН Беларуси
Бушинский М. В. ГНПО “Научно-практический центр НАН Беларуси по материаловедению”
Чобот А. Н. ГНПО “Научно-практический центр НАН Беларуси по материаловедению”
Баран Л. В. Белорусский государственный университет
Малютина-Бронская В. В. ГНПО “Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника”
Таратын И. А. Белорусский национальный технический университет

Страницы

59-64

Год издания

2025

Ключевые слова

Коллекции

Журнал прикладной спектроскопии