RT - article
SR - Electronic
T1 - Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пьезокерамических пленок, полученных методом лазерного осаждения в вакууме
JF - Журнал прикладной спектроскопии
SP - 2025-02-07
A1 - Босак Н. А., 
A1 - Бушинский М. В., 
A1 - Чобот А. Н., 
A1 - Баран Л. В., 
A1 - Малютина-Бронская В. В., 
A1 - Таратын И. А., 
YR - 2025
UL - https://www.academjournals.by/publication/15051
AB - Методом высокочастотного импульсно-периодического (f ~ 10—12 кГц) воздействия лазерного излучения с длиной волны 1.064 мкм и плотностью мощности q = 33 МВт/см2 на пьезокерамику ЦТС-19 при давлении в вакуумной камере p = 2.2 * 10–2 мм рт. ст. получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой и стеклянной подложках. С помощью атомно-силовой микроскопии изучена морфология тонких пьезокермических пленок. Исследованы спектры пропускания пленок в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проведен анализ электрофизических свойств структуры ЦТС-19/Si на кремниевой подложке.