TY  - JOUR
T1  - Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пьезокерамических пленок, полученных методом лазерного осаждения в вакууме
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
AU  - Босак Н. А., 
AU  - Бушинский М. В., 
AU  - Чобот А. Н., 
AU  - Баран Л. В., 
AU  - Малютина-Бронская В. В., 
AU  - Таратын И. А., 
Y1  - 2025-02-07
UR  - https://www.academjournals.by/publication/15051
N2  - Методом высокочастотного импульсно-периодического (f ~ 10—12 кГц) воздействия лазерного излучения с длиной волны 1.064 мкм и плотностью мощности q = 33 МВт/см2 на пьезокерамику ЦТС-19 при давлении в вакуумной камере p = 2.2 * 10–2 мм рт. ст. получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой и стеклянной подложках. С помощью атомно-силовой микроскопии изучена морфология тонких пьезокермических пленок. Исследованы спектры пропускания пленок в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проведен анализ электрофизических свойств структуры ЦТС-19/Si на кремниевой подложке.