Влияние температуры окислительного отжига на структурные и оптические характеристики пленок оксидов олова

Ксеневич В. К., Доросинец В. А., Самарина М. А., Адамчук Д. В., Абдурахманов Г. , Liu H.
2024

Исследованы кристаллическая структура и оптические характеристики неупорядоченных пленок оксидов олова, синтезированных методом магнетронного распыления мишени олова на стеклянные подложки с последующим двухстадийным отжигом на воздухе. Анализ микроструктуры пленок оксидов олова проведен методом рентгеновской дифракции и спектроскопии комбинационного рас сеяния света. Измерены спектры пропускания образцов в диапазоне длин волн λ = 200—3000 нм.  С помощью конвертного метода определены оптические константы (показатель преломления n(λ), коэффициент поглощения α(λ)) тонких пленок оксидов олова в зависимости от длины волны. Показана возможность получения пленок оксидов олова с управляемо варьируемыми оптическими пара метрами (коэффициент поглощения α до 82 % в видимом диапазоне электромагнитного спектра, показатель преломления n = 2—2.6, оптическая щель Тауца в диапазоне 2.62—3.46 эВ) посредством изменения температуры на второй стадии окислительного отжига в диапазоне 325—475 °С.

Ксеневич В. К., Доросинец В. А., Самарина М. А., Адамчук Д. В., Абдурахманов Г. , Liu H. Влияние температуры окислительного отжига на структурные и оптические характеристики пленок оксидов олова. Журнал прикладной спектроскопии. 2024;91(6):813-820.
Цитирование

Список литературы

Похожие публикации

Источник