Микроструктура и свойства тонких пленок циркония, полученных при высокочастотном лазерном осаждении

Босак Н. А.; Чумаков А. Н.; Баран Л. В.; Малютина-Бронская В. В.; Ивкович М.; Сакан Н.; Иванов А. А.

Микроструктура и свойства тонких пленок циркония, полученных при высокочастотном лазерном осаждении

Босак Н. А., Чумаков А. Н., Баран Л. В., Малютина-Бронская В. В., Ивкович М. , Сакан Н. , Иванов А. А.

2023

Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~ 6—10 кГц воздействия лазерного излучения с длиной волны l = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 120 МВт/см2 на цирконий при давлении в вакуумной камере p = 2.2 Па получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Изучена морфология тонких пленок циркония с помощью атомно-силовой микроскопии. Получены спектры пропускания пленок циркония в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проанализированы электрофизические характеристики структур Zr/Si.

Босак Н. А., Чумаков А. Н., Баран Л. В., Малютина-Бронская В. В., Ивкович М. , Сакан Н. , Иванов А. А. Микроструктура и свойства тонких пленок циркония, полученных при высокочастотном лазерном осаждении. Журнал прикладной спектроскопии. 2023;90(6):877-881.

Цитирование

Список литературы

1. Л. М. Лыньков, Т. В. Молодечкина, В. А. Богуш, Т. В. Борботько. Докл. БГУИР, № 3 (2004) 73—84

2. Xu Jingping, Bai Tiecheng, Li Xingjiao, Zheng Xiangbin, Su Wuda, An Changwu. Vacuum, 43, N 11 (1992) 1051—1053

3. Н. Е. Некрасова, С. С. Кругликов. Физикохимия поверхности и защита материалов, 47, № 6 (2011) 668—672

4. С. В. Иванова, Э. М. Глаговский, В. К. Орлов, И. А. Шлепов, К. Ю. Никоноров, В. В. Рожко, В. А. Глебов, С. Я. Бецофен. Ядерная физика и инжиниринг, 2, № 3 (2011) 224—234

5. D. G. Olmedo, D. R. Tasat, P. Evelson, R. Rebagliatti, M. B. Guglielmotti, R. L. Cabrini. J. Biomed. Mater. Res. A, 98A, N 4 (2011) 604—613

6. R. H. Nielsen, J. H. Schlewitz, H. Neilson. Kirk-Othmer Encycl. Chem. Technol. (2000) 1—46

7. S. Q. Hussain, S. Kim, S. Ahn, N. Balaji, Y. Lee, J. H. Lee, J. Yi. Solar Energy Mater. Solar Cells, 122 (2014) 130—135

8. B. Zhang, X. Dong, X. Xu, P. Zhao, J. Wu. Solar Energy Mater. Solar Cells, 92, N 10 (2008) 1224—1229

9. D. A. Aldemir. Modern Phys. Lett. B, 34, N 10 (2020) 2050095

10. E. H. Rhoderick. IEE Proc. I, Solid-State Electron. Dev., 129, N 1 (1982) 1—4

11. Л. Я. Минько, А. Н. Чумаков, Н. А. Босак. Квант. электрон., 17, № 11 (1990) 1480—1484

Источник

Информация

Автор

Босак Н. А. Институт физики НАН Беларуси
Чумаков А. Н. Институт физики НАН Беларуси
Баран Л. В. Белорусский государственный университет
Малютина-Бронская В. В. ГНПО “Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника” НАН Беларуси
Ивкович М. Институт физики
Сакан Н. Институт физики
Иванов А. А. Институт физики НАН Беларуси

Страницы

877-881

Год издания

2023

Ключевые слова

Коллекции

Журнал прикладной спектроскопии