@article{Босак Н. А.2023-11-24,
author = { Босак Н. А.,  Чумаков А. Н.,  Баран Л. В.,  Малютина-Бронская В. В.,  Ивкович М. ,  Сакан Н. ,  Иванов А. А.},
title = {Микроструктура и свойства тонких пленок циркония, полученных при высокочастотном лазерном осаждении},
year = {2023},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~ 6—10 кГц воздействия лазерного излучения с длиной волны l = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 120 МВт/см2 на цирконий при давлении в вакуумной камере p = 2.2 Па получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Изучена морфология тонких пленок циркония с помощью атомно-силовой микроскопии. Получены спектры пропускания пленок циркония в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проанализированы электрофизические характеристики структур Zr/Si.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/15408},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/15367},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}