%0 article
%A Босак Н. А., 
%A Чумаков А. Н., 
%A Баран Л. В., 
%A Малютина-Бронская В. В., 
%A Ивкович М. , 
%A Сакан Н. , 
%A Иванов А. А., 
%T Микроструктура и свойства тонких пленок циркония, полученных при высокочастотном лазерном осаждении
%D 2023
%J Журнал прикладной спектроскопии
%X Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~ 6—10 кГц воздействия лазерного излучения с длиной волны l = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 120 МВт/см2 на цирконий при давлении в вакуумной камере p = 2.2 Па получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Изучена морфология тонких пленок циркония с помощью атомно-силовой микроскопии. Получены спектры пропускания пленок циркония в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проанализированы электрофизические характеристики структур Zr/Si.
%U https://www.academjournals.by/publication/15408