PT - JOURNAL ARTICLE
AU - Босак Н. А., 
AU - Чумаков А. Н., 
AU - Баран Л. В., 
AU - Малютина-Бронская В. В., 
AU - Ивкович М. , 
AU - Сакан Н. , 
AU - Иванов А. А., 
TI - Микроструктура и свойства тонких пленок циркония, полученных при высокочастотном лазерном осаждении
DP - 2023-11-24
TA - Журнал прикладной спектроскопии
SO - https://www.academjournals.by/publication/15408
AB - Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~ 6—10 кГц воздействия лазерного излучения с длиной волны l = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 120 МВт/см2 на цирконий при давлении в вакуумной камере p = 2.2 Па получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Изучена морфология тонких пленок циркония с помощью атомно-силовой микроскопии. Получены спектры пропускания пленок циркония в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проанализированы электрофизические характеристики структур Zr/Si.