PT - JOURNAL ARTICLE
AU - Somakumar А. K., 
TI - Эллипсометрический подход в изучении изменений показателя преломления и коэффициента экстинкции тонкой однослойной пленки меди при термическом отжиге
DP - 2023-11-25
TA - Журнал прикладной спектроскопии
SO - https://www.academjournals.by/publication/15415
AB - Исследованы оптические характеристики тонкой поглощающей однослойной пленки меди при различных температурах отжига. Спектроскопическая эллипсометрия применена в качестве эффективного инструмента для точной настройки оптических констант тонких пленок, особенно для достижения конкретных значений показателя преломления (n) и коэффициента экстинкции (k). Измерение и анализ термически осажденной на стеклянную подложку тонкой однослойной пленки меди проведены для спектроскопического эллипсометра.