RT - article
SR - Electronic
T1 - Эллипсометрический подход в изучении изменений показателя преломления и коэффициента экстинкции тонкой однослойной пленки меди при термическом отжиге
JF - Журнал прикладной спектроскопии
SP - 2023-11-25
A1 - Somakumar А. K., 
YR - 2023
UL - https://www.academjournals.by/publication/15415
AB - Исследованы оптические характеристики тонкой поглощающей однослойной пленки меди при различных температурах отжига. Спектроскопическая эллипсометрия применена в качестве эффективного инструмента для точной настройки оптических констант тонких пленок, особенно для достижения конкретных значений показателя преломления (n) и коэффициента экстинкции (k). Измерение и анализ термически осажденной на стеклянную подложку тонкой однослойной пленки меди проведены для спектроскопического эллипсометра.