Филин С. А., Рогалин В. Е., Каплунов И. А. Контроль чистоты поверхности оптических элементов эллипсометрическим методом // Журнал прикладной спектроскопии. 2022 Т.89, №3. С.410-418. doi:10.47612/0514-7506-2022-89-3-410-418