Филин С. А., Рогалин В. Е., Каплунов И. А. Контроль чистоты поверхности оптических элементов эллипсометрическим методом. Журнал прикладной спектроскопии. 2022;89(3):410-418. https://doi.org/10.47612/0514-7506-2022-89-3-410-418