@article{Чубенко Е. Б.2022-09-23,
author = { Чубенко Е. Б.,  Гревцов Н. Л.,  Бондаренко В. П.,  Гаврилин И. М.,  Павликов А. В.,  Дронов А. А.,  Волкова Л. С.,  Гаврилов С. А.},
title = {СПЕКТРЫ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК СПЛАВА КРЕМНИЙ/ГЕРМАНИЙ НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ},
year = {2022},
doi = {10.47612/0514-7506-2022-89-5-614-620},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Исследованы закономерности изменения состава тонких пленок сплава кремний/германий, сформированного на подложке монокристаллического кремния методом электрохимического осаждения германия в матрицу пористого кремния с последующим быстрым термическим отжигом (БТО) при температуре 750—950 °С. Анализ образцов методом спектроскопии комбинационного рассеяния света показал, что увеличение температуры БТО приводит к уменьшению концентрации германия в формируемом слое. Уменьшение продолжительности БТО при заданной температуре позволяет получить пленки с большей концентрацией германия и контролировать состав формируемых тонких пленок сплава кремний/германий путем изменения температуры и продолжительности БТО. Полученные результаты по управлению составом пленок сплава кремний-германий могут быть использованы при создании устройств функциональной электроники, термоэлектрических преобразователей энергии и оптоэлектронных приборов.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/15563},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/15519},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}