RT - article
SR - Electronic
T1 - СПЕКТРЫ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК СПЛАВА КРЕМНИЙ/ГЕРМАНИЙ НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
JF - Журнал прикладной спектроскопии
SP - 2022-09-23
DO - 10.47612/0514-7506-2022-89-5-614-620
A1 - Чубенко Е. Б., 
A1 - Гревцов Н. Л., 
A1 - Бондаренко В. П., 
A1 - Гаврилин И. М., 
A1 - Павликов А. В., 
A1 - Дронов А. А., 
A1 - Волкова Л. С., 
A1 - Гаврилов С. А., 
YR - 2022
UL - https://www.academjournals.by/publication/15563
AB - Исследованы закономерности изменения состава тонких пленок сплава кремний/германий, сформированного на подложке монокристаллического кремния методом электрохимического осаждения германия в матрицу пористого кремния с последующим быстрым термическим отжигом (БТО) при температуре 750—950 °С. Анализ образцов методом спектроскопии комбинационного рассеяния света показал, что увеличение температуры БТО приводит к уменьшению концентрации германия в формируемом слое. Уменьшение продолжительности БТО при заданной температуре позволяет получить пленки с большей концентрацией германия и контролировать состав формируемых тонких пленок сплава кремний/германий путем изменения температуры и продолжительности БТО. Полученные результаты по управлению составом пленок сплава кремний-германий могут быть использованы при создании устройств функциональной электроники, термоэлектрических преобразователей энергии и оптоэлектронных приборов.