Оптические и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка, легированных оксидом марганца и полученных методом лазерного осаждения

Босак Н. А.; Чумаков А. Н.; Шевченок А. А.; Баран Л. В.; Кароза А. Г.; Малютина-Бронская В. В.; Иванов А. А.

Оптические и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка, легированных оксидом марганца и полученных методом лазерного осаждения

Босак Н. А., Чумаков А. Н., Шевченок А. А., Баран Л. В., Кароза А. Г., Малютина-Бронская В. В., Иванов А. А.

2021

Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~10—15 кГц лазерного воздействия с длиной волны l = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 150 МВт/см2 на керамику из оксида цинка, легированного оксидом марганцем, получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке при давлении в вакуумной камере p = 2.7 Па. Изучены морфология поверхности и элементный состав полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, растровой электронной микроскопии и рентгеноспектрального микроанализа. Выявлены особенности спектров пропускания в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проведен анализ электрофизических свойств гетероструктуры ZnO+2% MnO2/Si.

Босак Н. А., Чумаков А. Н., Шевченок А. А., Баран Л. В., Кароза А. Г., Малютина-Бронская В. В., Иванов А. А. Оптические и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка, легированных оксидом марганца и полученных методом лазерного осаждения. Журнал прикладной спектроскопии. 2021;88(2):221-226.

Цитирование

Список литературы

1. X. Yu, T. J. Marks, A. Facchetti. Nat. Mater. Rev., 15 (2016) 383—396

2. Т. В. Семикина, В. Н. Комащенко, Л. Н. Шмырева. Электроника и связь, № 3 (2010) 20—28

3. C. Woll. Prog. Surf. Sci., 82 (2007) 55—120

4. A. B. Djurisic, A. M. C. Ng, X. Y. Chen. Prog. Quant. Electron., 34 (2010) 191—259

5. N. Qin, Q. H. Xiang, Zhao, J. Zhang, J. Xu. Cryst. Eng. Comm., 16 (2014) 7062—7073

6. В. Н. Зима, А. Г. Козлов, Т. Н. Танская. Вест. Омского ун-та, № 2 (2013) 75—79

7. Н. П. Клочко, Ю. А. Мягченко, Е. Е. Мельничук, В. Р. Копач, Е. С. Клепикова, В. Н. Любов, Г. С. Хрипунов, А. В. Копач. ФТП, 47, № 8 (2013) 1129—1136

8. N. Tarasenka, A. Butsen, V. Pankov, T. Velusamy, D. Mariotti, N. Tarasenko. Nano-Structures & Nano-Objects, 12 (2017) 210—219

9. Т. В. Семикина. Оптоэлектроника и полупроводниковая техника, № 51 (2016) 150—157

10. А. Н. Чумаков, А. В. Гулай, А. А. Шевчёнок, Т. Ф. Райченок, А. Г. Кароза, А. С. Мацукович, Н. А. Босак, В. А. Гулай. Электроника-инфо, № 2 (2016) 32—37

11. Л. Я. Минько, А. Н. Чумаков, Н. А. Босак. Квант. электрон., 17, № 11 (1990) 1480—1484

12. Б. Б. Страумал, С. Г. Протасова, А. А. Мазилкин, Г. Шютц, Э. Гёринг, Б. Барецки, П. Б. Страумал. Письма в ЖЭТФ, 97, № 11, вып. 6 (2013) 415—426

13. В. Л. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии, Москва, Техносфера (2004)

14. A. M. Hashem, H. M. Abuzeid, A. M. Abdel-Latif, H. M. Аbbas, H. Ehrenberg, S. Indris, A. Mauger, H. Groult, C. M Julien. ECS Transact., 50 (2013) 125—130

15. S. S. Shinde, P. S. Shinde, R. T. Sapkal, Y. W. Oh, D. Haranath, C. H. Bhosale, K. Y. Rajpure. J. Alloy. Compd., 538 (2012) 237—243

16. В. В. Малютина-Бронская, В. Б. Залесский, Т. Р. Леонова. Докл. БГУИР, № 6 (2011) 39—43

17. P. Popielarski, W. Bala, K. Paprocki. Solid State Phenom., 200 (2013) 27—32

18. G. Chatzigiannakis, A. Jaros, R. Leturcq, J. Jungclaus, T. Voss, S. Gardelis, M. Kandyla. ACS Appl. Electron. Mater., 2, N 9 (2020) 2819—2828

Источник

Информация

Автор

Босак Н. А. Институт физики, НАН Беларуси
Чумаков А. Н. Институт физики, НАН Беларуси
Шевченок А. А. Белорусский национальный технический университет
Баран Л. В. Белорусский государственный университет
Кароза А. Г. Институт физики, НАН Беларуси
Малютина-Бронская В. В. Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника, ГНПО
Иванов А. А. Институт физики, НАН Беларуси

Страницы

221-226

Год издания

2021

Ключевые слова

Коллекции

Журнал прикладной спектроскопии