RT - article
SR - Electronic
T1 - Оптические и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка, легированных оксидом марганца и полученных методом лазерного осаждения
JF - Журнал прикладной спектроскопии
SP - 2021-05-28
A1 - Босак Н. А., 
A1 - Чумаков А. Н., 
A1 - Шевченок А. А., 
A1 - Баран Л. В., 
A1 - Кароза А. Г., 
A1 - Малютина-Бронская В. В., 
A1 - Иванов А. А., 
YR - 2021
UL - https://www.academjournals.by/publication/15698
AB - Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~10—15 кГц лазерного воздействия с длиной волны l = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 150 МВт/см2 на керамику из оксида цинка, легированного оксидом марганцем, получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке при давлении в вакуумной камере p = 2.7 Па. Изучены морфология поверхности и элементный состав полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, растровой электронной микроскопии и рентгеноспектрального микроанализа. Выявлены особенности спектров пропускания в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проведен анализ электрофизических свойств гетероструктуры ZnO+2% MnO2/Si.