@article{Бордун О. М.2021-11-27, author = { Бордун О. М., Бордун И. О., Кофлюк И. Н., Кухарский И. И., Медвидь И. И.}, title = {Влияние состава атмосферы высокочастотного распыления на плотность состояний и межзонное поглощение света в тонких пленках Y2O3}, year = {2021}, doi = {10.47612/0514-7506-2021-88-6-881-886}, publisher = {NP «NEICON»}, abstract = {Исследован длинноволновый край полосы фундаментального поглощения тонких пленок Y2O3, полученных методом высокочастотного ионно-плазменного распыления. Показано, что при нанесении пленок в атмосфере аргона, кислорода или смеси данных газов край межзонного поглощения хорошо аппроксимируется эмпирическим правилом Урбаха. Для анализа экспериментальных результатов рассмотрены дифрактограммы полученных пленок и использована модель сильнолегированного или дефектного полупроводника в квазиклассическом приближении. Использование данной модели позволяет определить радиус основного электронного состояния, радиус экранирования и среднеквадратичный потенциал в зависимости от атмосферы распыления. }, URL = {https://www.academjournals.by/publication/15788}, eprint = {https://www.academjournals.by/files/15742}, journal = {Журнал прикладной спектроскопии}, }