%0 article
%A Бордун О. М., 
%A Бордун И. О., 
%A Кофлюк И. Н., 
%A Кухарский И. И., 
%A Медвидь И. И., 
%T Влияние состава атмосферы высокочастотного распыления на плотность состояний и межзонное поглощение света в тонких пленках Y2O3
%D 2021
%R 10.47612/0514-7506-2021-88-6-881-886
%J Журнал прикладной спектроскопии
%X Исследован длинноволновый край полосы фундаментального поглощения тонких пленок Y2O3, полученных методом высокочастотного ионно-плазменного распыления. Показано, что при нанесении пленок в атмосфере аргона, кислорода или смеси данных газов край межзонного поглощения хорошо аппроксимируется эмпирическим правилом Урбаха. Для анализа экспериментальных результатов рассмотрены дифрактограммы полученных пленок и использована модель сильнолегированного или дефектного полупроводника в квазиклассическом приближении. Использование данной модели позволяет определить радиус основного электронного состояния, радиус экранирования и среднеквадратичный потенциал в зависимости от атмосферы распыления. 
%U https://www.academjournals.by/publication/15788