ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ КВАРЦЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ УГЛАХ БРЮСТЕРА МЕТОДОМ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ

Стаськов Н. И.; Мухаммедмурадов А. А.; Крекотень Н. А.; Парашков С. О.

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ КВАРЦЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ УГЛАХ БРЮСТЕРА МЕТОДОМ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ

Стаськов Н. И., Мухаммедмурадов А. А., Крекотень Н. А., Парашков С. О.

2020

Предложен способ определения оптических характеристик стеклянных пластин после физико-химической обработки поверхностей, основанный на измерении спектральных зависимостей эллипсометрических углов при углах падения, равных углу Брюстера. Установлено, что по координатам минимумов на спектральных зависимостях эллипсометрических углов можно определить дисперсионную зависимость показателя преломления и оценить толщину поверхностных слоев в процессе изготовления пластин. Рассчитанные по формуле Брюстера спектральные зависимости показателей преломления пластин из оптического кварца КУ-1 в области отсутствия поглощения удовлетворительно согласуются со спектральными зависимостями, которые определяются известными численными методами с использованием программного обеспечения DeltaPsi2 спектрального эллипсометра UVISEL 2 (Horiba). Относительная погрешность определения показателей преломления кварцевых пластин предложенным способом <0.1 %.

Стаськов Н. И., Мухаммедмурадов А. А., Крекотень Н. А., Парашков С. О. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ КВАРЦЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ УГЛАХ БРЮСТЕРА МЕТОДОМ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ. Журнал прикладной спектроскопии. 2020;87(1):122-129.

Цитирование

Список литературы

1. R. Swanepoel. J. Phys. E: Sci. Instrum., 16 , N 12 (1983) 1214—1222

2. D. A. Minkov, G. M. Gavrilov, E. Marquez, S. M. Fernandez. 2016 XXV International Scientific Conference Electronics (ET), September 12–14, 2016, Sozopol, Bulgaria (2016) 1—4

3. A. Penzkofer, E. Drotleff, W. Holzer. Opt. Commun., 158 (1998) 221—230

4. А. Б. Сотский, К. Н. Кривецкий, С. О. Парашков, Л. И. Сотская. Журн. прикл. спектр., 83 , № 5 (2016) 809—817 [ A. B. Sotsky, K. N. Krivetskii, S. O. Parashkov, L. I. Sotskaya. J. Appl. Spectr., 83 (2016) 845—853]

5. В. И. Пшеницын, М. И. Абаев, Н. Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Москва, Химия (1986) 71

6. В. Г. Жупанов, Ф. В. Григорьев, В. Б. Сулимов, А. В. Тихонравов. Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физика. Астрономия, № 6 (2017) 64—67

7. M. R. Nenkov, T. G. Pencheva. Eur. Phys. J. Appl. Phys., 42 , N 3 (2008) 219—228

8. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет, Москва, Мир (1981)

9. H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, New York, Norwich, William Andrew, Inc., Springer (2005)

10. K. Ogusu, K. Suzuki, H. Nishio. Opt. Lett., 31 , N 7 (2006) 909—911

11. Edward D. Palik. Handbook of Optical Constants of Solids, Academic Press (1988)

12. Horiba Scientific. http://nytek.ru/upload/iblock/556/faq-spektralnaya-ellipsometriya-_-obshchie-voprosy.pdf (дата обращения: 24.04.2019)

13. ГОСТ 15130-86. Стекло кварцевое оптическое, ИНК изд-во стандартов, Москва (1991) 30

14. Кварцевое стекло для производства оптики ООО “Тидекс”; http://www.tydexoptics.com/pdf/Fused_Silica_ru.pdf (дата обращения: 24.04.2019)

15. I. H. Malitson. J. Opt. Soc. Am., 55 , N 10 (1965) 1205—1209

16. R. Kitamura, L. Pilon, M. Jonasz. Appl. Opt., 46 , N 33 (2007) 8118—8133

17. М. М. Горшков. Эллипсометрия, Москва, Советское радио (1974)

18. J. M. González-Leal, R. Prieto-Alcón, J. A. Angel, D. A. Minkov, E. Márquez. Appl. Opt., 41 , N 34 (2002) 7300—7308

Источник

Информация

Автор

Стаськов Н. И. Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова
Мухаммедмурадов А. А. Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова
Крекотень Н. А. ОАО “ИНТЕГРАЛ” — управляющая компания холдинга “ИНТЕГРАЛ”
Парашков С. О. Белорусско-Российский университет

Страницы

122-129

Год издания

2020

Ключевые слова

Коллекции

Журнал прикладной спектроскопии