RT - article
SR - Electronic
T1 - ОПТИЧЕСКИЕ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА, ЛЕГИРОВАННЫХ СКАНДИЕМ И ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ
JF - Журнал прикладной спектроскопии
SP - 2020-10-30
A1 - Босак Н. А., 
A1 - Чумаков А. Н., 
A1 - Шевченок А. А., 
A1 - Баран Л. В., 
A1 - Кароза А. Г., 
A1 - Малютина-Бронская В. В., 
A1 - Райченок Т. Ф., 
A1 - Сугак М. Г., 
YR - 2020
UL - https://www.academjournals.by/publication/15935
AB - Методом высокочастотного импульсно-периодического (f ~ 10—15 кГц) лазерного воздействия с длиной волны λ = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 85 МВт/см2 на керамику из оксида цинка, легированную оксидом скандия, при давлении в вакуумной камере p = 2 ⋅ 10-2 мм рт. ст. получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии. Выявлены особенности спектров пропускания в видимой, ближней и средней ИК-областях. Полученные при возбуждении разными длинами волн спектры люминесценции практически не изменяются. Проведен анализ электрофизических свойств гетероструктуры ZnO+0.9%Sc2O3/Si. Установлено, что основным механизмом проводимости является ток, ограниченный пространственным зарядом в пленке оксида с глубокими ловушками.