TY  - JOUR
T1  - ОПТИЧЕСКИЕ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА, ЛЕГИРОВАННЫХ СКАНДИЕМ И ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
AU  - Босак Н. А., 
AU  - Чумаков А. Н., 
AU  - Шевченок А. А., 
AU  - Баран Л. В., 
AU  - Кароза А. Г., 
AU  - Малютина-Бронская В. В., 
AU  - Райченок Т. Ф., 
AU  - Сугак М. Г., 
Y1  - 2020-10-30
UR  - https://www.academjournals.by/publication/15935
N2  - Методом высокочастотного импульсно-периодического (f ~ 10—15 кГц) лазерного воздействия с длиной волны λ = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 85 МВт/см2 на керамику из оксида цинка, легированную оксидом скандия, при давлении в вакуумной камере p = 2 ⋅ 10-2 мм рт. ст. получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии. Выявлены особенности спектров пропускания в видимой, ближней и средней ИК-областях. Полученные при возбуждении разными длинами волн спектры люминесценции практически не изменяются. Проведен анализ электрофизических свойств гетероструктуры ZnO+0.9%Sc2O3/Si. Установлено, что основным механизмом проводимости является ток, ограниченный пространственным зарядом в пленке оксида с глубокими ловушками.