РЕНТГЕНОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>

Бордун О. М.; Бордун Б. О.; Кухарский И. И.; Медвидь И. И.

РЕНТГЕНОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК β-Ga₂O₃

Бордун О. М., Бордун Б. О., Кухарский И. И., Медвидь И. И.

2019

В температурном диапазоне 80-300 К исследованы спектры рентгенолюминесценции тонких пленок β-Ga2O3, полученных высокочастотным ионно-плазменным распылением. В рамках модели линейной электрон-фононной связи проведено моделирование измеренных спектров. На основе температурной зависимости выделенных полос люминесценции установлена ассоциативная природа центров люминесценции с максимумами свечения в областях 2.95 и 3.14 эВ и проведен анализ полученных результатов.

Бордун О. М., Бордун Б. О., Кухарский И. И., Медвидь И. И. РЕНТГЕНОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК β-Ga₂O₃. Журнал прикладной спектроскопии. 2019;86(6):895-898.

Цитирование

Список литературы

1. J.-T. Jan, C.-T. Lee. Sensor. Actuator. B, 143, N 1 (2009) 192—197

2. M. Passlack, M. Hong, E. F. Schubert, J. R. Kwo, J. P. Mannaerst, S. N. G. Chu, N. Moriya, F. A. Thiel. Appl. Phys. Lett., 66, N 5 (1995) 625—627

3. J.-G. Zhao, Z.-X. Zhang, Z.-W. Ma, H.-G. Duan, X.-S. Guo, E.-Q. Xie. Chin. Phys. Lett., 25, N 10 (2008) 3787—3789

4. L. Kong, J. Ma, C. Luan, W. Mi, Yu Lv. Thin Solid Films, 520, N 13 (2012) 4270—4274

5. Y. Kokubun, K. Miura, F. Endo, S. Nakagomi. Appl. Phys. Lett., 90, N 3 (2007) 031912 (1—3)

6. M. Peres, E. Nogales, B. Mendez, K. Lorenz, M. R. Correia, T. Monteiro, N. Ben Sedrine. ECS J. Sol. State Sci. Technol., 8, N 7 (2019) Q3097–Q3102

7. Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии, Москва, Техносфера (2010)

8. О. М. Бордун, И. И. Кухарский, Б. О. Бордун, В. Б. Лущанец. Журн. прикл. спектр., 81, № 5 (2014) 699—703 [O. M. Bordun, I. Yo. Kukharskyy, B. O. Bordun, V. B. Lushchanets. J. Appl. Spectr., 81 (2014) 771–775]

9. O. M. Bordun, B. O. Bordun, I. I. Medvid, I. Yo. Kukharskyy. Acta Phys. Pol. A, 133, N 4 (2018) 910—913

10. T. Owen. Fundamentals of UV-Visible Spectroscopy, Hewlett-Packard GmbH, Waldronn, Germany (1996)

11. О. М. Бордун, Б. О. Бордун, И. И. Кухарский, И. И. Медвидь. Журн. прикл. спектр., 84, № 1 (2017) 56—62 [O. M. Bordun, B. O. Bordun, I. Yo. Kukharskyy, I. I. Medvid. J. Appl. Spectr., 84 (2017) 46—51]

12. K. Shimamura, E. G. Villora, T. Ujiike, K. Aoki. Appl. Phys. Lett., 92, N 20 (2008) 201914 (1—3)

13. Г. П. Пека, В. Ф. Коваленко, В. Н. Куценко. Люминесцентные методы контроля параметров полупроводниковых материалов и приборов, Киев, Техника (1986)

14. W. L. Wanmaker, J. W. ter Vrugt. J. Electrochem. Soc., 116, N 6 (1969) 871—872

15. M. R. Lorenz, J. F. Woods, R. J. Gambino. J. Phys. Chem. Sol., 28, N 3 (1967) 403—404

Источник

Информация

Автор

Бордун О. М. Львовский национальный университет им. Ивана Франко
Бордун Б. О. Львовский национальный университет им. Ивана Франко
Кухарский И. И. Львовский национальный университет им. Ивана Франко
Медвидь И. И. Львовский национальный университет им. Ивана Франко

Страницы

895-898

Год издания

2019

Ключевые слова

Коллекции

Журнал прикладной спектроскопии

РЕНТГЕНОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК β-Ga2O3

Похожие публикации

Источник

Информация

РЕНТГЕНОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК β-Ga₂O₃