TY - JOUR T1 - Влияние жесткости и добротности зонда на характеристики его колебаний в динамическом режиме работы атомно-силового микроскопа JF - Доклады Национальной академии наук Беларуси DO - 10.29235/1561-8323-2024-68-6-513-518 AU - Абетковская С. О., AU - Чижик С. А., Y1 - 2025-01-08 UR - https://www.academjournals.by/publication/2244 N2 - В работе приведены результаты математического моделирования динамической атомно-силовой микроскопии (АСМ). Исследовано влияние жесткости и добротности АСМ-зонда на амплитуду, сдвиг фазы колебаний его острия в режиме полуконтактного взаимодействия с поверхностью материала. Рассчитаны глубины деформирования материала зондом. Также показано влияние амплитуды колебаний пьезогенератора, вынуждающего зонд осциллировать, на характеристики колебаний зонда.