@article{Чижик С. А.2023-05-07, author = { Чижик С. А., Зеленин В. А., Егорова Ю. А.}, title = {Процессы формирования пленок сплавов системы Cu–Ni методом электроннолучевого испарения}, year = {2023}, doi = {10.29235/1561-8323-2023-67-2-156-162}, publisher = {NP «NEICON»}, abstract = {Рассмотрены особенности формирования пленок сплавов системы Cu–Ni методом электронно-лучевого испарения. Определено положение изобар суммарного давления меди и никеля на диаграмме состояния Cu–Ni при испарении в вакууме. Проведены расчеты элементных составов пленок. Показано, что содержание никеля в пленках, осаждающихся при кипении сплава Cu50Ni50 в вакууме, в 50 раз меньше, чем в сплаве. Исследована структура и элементный состав поверхностного слоя сплавов после их испарения и сублимации, а также элементный состав осаждаемых пленок. Показано, что наиболее приемлемым способом получения пленок стабильного состава в системе Cu–Ni является одновременное электронно-лучевое испарение меди и никеля из двух тиглей. }, URL = {https://www.academjournals.by/publication/2264}, eprint = {https://www.academjournals.by/files/2262}, journal = {Доклады Национальной академии наук Беларуси}, }