%0 article
%A Чижик С. А., 
%A Зеленин В. А., 
%A Егорова Ю. А., 
%T Процессы формирования пленок сплавов системы Cu–Ni методом электроннолучевого испарения
%D 2023
%R 10.29235/1561-8323-2023-67-2-156-162
%J Доклады Национальной академии наук Беларуси
%X Рассмотрены особенности формирования пленок сплавов системы Cu–Ni методом электронно-лучевого испарения. Определено положение изобар суммарного давления меди и никеля на диаграмме состояния Cu–Ni при испарении в вакууме. Проведены расчеты элементных составов пленок. Показано, что содержание никеля в пленках, осаждающихся при кипении сплава Cu50Ni50 в вакууме, в 50 раз меньше, чем в сплаве. Исследована структура и элементный состав поверхностного слоя сплавов после их испарения и сублимации, а также элементный состав осаждаемых пленок. Показано, что наиболее приемлемым способом получения пленок стабильного состава в системе Cu–Ni является одновременное электронно-лучевое испарение меди и никеля из двух тиглей. 
%U https://www.academjournals.by/publication/2264