PT - JOURNAL ARTICLE
AU - Константинов С. В., 
AU - Комаров Ф. Ф., 
AU - Стрельницкий В. Е., 
TI - Радиационная стойкость наноструктурированных покрытий TiCrN
DP - 2021-09-01
TA - Доклады Национальной академии наук Беларуси
4100 - 10.29235/1561-8323-2021-65-4-412-421
SO - https://www.academjournals.by/publication/2430
AB - Методом сепарируемого вакуумно-дугового осаждения сформированы наноструктурированные покрытия TixCr1–xN различных составов 0,58 ≤ x ≤ 0,8 на подложках из нержавеющей стали 12Х17 и монокристаллического кремния. Изучен элементный состав методом спектрометрии резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия, структурно-фазовое состояние и морфология методами рентгеновской дифракции, оптической и сканирующей электронной микроскопии, проведены трибомеханические испытания исходных покрытий. Проведено исследование радиационной стойкости наноструктурированных покрытий TixCr1–xN 0,58 ≤ x ≤ 0,8 при облучении ионами He+ с энергией 500 кэВ в диапазоне флюенсов 5·1016–3·1017 ион/см2. Установлено, что покрытия TixCr1–xN 0,58 ≤ x ≤ 0,8 выдерживают облучение без существенных изменений структуры до флюенса 2·1017 ион/см2, при котором начинается частичный флекинг (отшелушивание) покрытий до глубины среднего проективного пробега ионов гелия. Обнаружено уменьшение среднего размера кристаллитов покрытий и уменьшение периода кристаллической решетки покрытий после облучения. Установлено уменьшение микротвердости покрытий TixCr1–xN всех составов после облучения.