RT - article
SR - Electronic
T1 - Радиационная стойкость наноструктурированных покрытий TiZrSiN
JF - Доклады Национальной академии наук Беларуси
SP - 2020-11-03
DO - 10.29235/1561-8323-2020-64-5-534-543
A1 - Комаров Ф. Ф., 
A1 - Константинов С. В., 
A1 - Зайков В. А., 
A1 - Пилько В. В., 
YR - 2020
UL - https://www.academjournals.by/publication/2536
AB - Методом реактивного магнетронного распыления сформированы наноструктурированные покрытия TiZrSiN на различных типах подложек в режимах с недостатком и стехиометрической концентрацией азота. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгеноструктурного фазового анализа определено структурно-фазовое состояние исходных покрытий, их толщины, а также морфология. С использованием наноиндентирования по методике Оливера и Фарра, а также трибомеханических испытаний определены твердость, модуль Юнга и коэффициента трения покрытий. Проведено облучение исследуемых покрытий TiZrSiN ионами водорода H+ с энергией 500 кэВ в диапазоне флюенсов от 1 • 1016 до 1 • 1017 ион/см2 на ускорительном комплексе AN 2500. Установлено, что наноструктурированные покрытия TiZrSiN, нанесенные в режимах недостатка и стехиометрии азота являются радиационно-стойкими и потенциально перспективными для эксплуатации как защитных на корпусах малых летательных аппаратов на орбите Земли и в условиях открытого космоса.