TY - JOUR T1 - Радиационная стойкость наноструктурированных покрытий TiZrSiN JF - Доклады Национальной академии наук Беларуси DO - 10.29235/1561-8323-2020-64-5-534-543 AU - Комаров Ф. Ф., AU - Константинов С. В., AU - Зайков В. А., AU - Пилько В. В., Y1 - 2020-11-03 UR - https://www.academjournals.by/publication/2536 N2 - Методом реактивного магнетронного распыления сформированы наноструктурированные покрытия TiZrSiN на различных типах подложек в режимах с недостатком и стехиометрической концентрацией азота. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгеноструктурного фазового анализа определено структурно-фазовое состояние исходных покрытий, их толщины, а также морфология. С использованием наноиндентирования по методике Оливера и Фарра, а также трибомеханических испытаний определены твердость, модуль Юнга и коэффициента трения покрытий. Проведено облучение исследуемых покрытий TiZrSiN ионами водорода H+ с энергией 500 кэВ в диапазоне флюенсов от 1 • 1016 до 1 • 1017 ион/см2 на ускорительном комплексе AN 2500. Установлено, что наноструктурированные покрытия TiZrSiN, нанесенные в режимах недостатка и стехиометрии азота являются радиационно-стойкими и потенциально перспективными для эксплуатации как защитных на корпусах малых летательных аппаратов на орбите Земли и в условиях открытого космоса.